运营商财经网 八卦叨/文
最近，都传言全球最领先的光刻机企业荷兰ASML公司要进军1nm制程EUV光刻机，这本来对芯片业是好事，可是又传言每台1nm制程EUV光刻机高达4.5亿美元，这又把大家吓坏了，那国内的中芯国际到底买还是不买呢？
首先，大家关心的是1nm制程EUV光刻机到底能否研发出来。消息来源是IMEC公司，他们公布了3nm、2nm、1.5nm以及1nm以下的逻辑器件小型化路线图。根据IMEC公司首席执行官的透露，IMEC公司与ASML公司紧密合作，将推进下一代高分辨率EUV光刻技术。
IMEC强调荷兰ASML公司已经完成了EUV曝光系统的基本设计，将应用于1nm光刻机，预计2022年即可商用。
其次，我们再来看下ASML公司 1nm光刻机究竟是怎么回事。这里的1nm其实指的是晶体管栅极宽度1nm，光刻机本身采用的是波长指标，目前最先进的光刻机就是基于波长13.5nm的EUV。但不论怎么说ASML公司确实是完成了1nm光刻机的设计突破。
再来看下是否值得买？中芯国际等中国芯片制造企业缺乏高端的EUV光刻机，这是早就明摆的事实，再加上中芯国际2020年上市融资成功，花4.5亿美元买一台1nm制程EUV光刻机也行，但也就买一台足够，拿回来好好研究下，咱们自己改进光刻机技术。
传台积电有意采购了35台EUV设备，这是因为台积电太有钱了，而且，台积电也缺乏配套的光刻机设备企业给它提供光刻机。
而目前中国国产最高水平的上海微电子仅突破了22nm光刻机的研制工作，还没有量产，计划2021年交付首台国产22nm的光刻机。全球最先进的ASML却传出要突破1nm了，国内外技术差距也太大了。所以，不管花多少钱，还是可以EUV光刻机回来，别说1纳米制程，就是7纳米制程的也行啊。
（责任编辑：韩丽）
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