运营商财经 康钊/文
近日，荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML.US)表示，该公司已经开始将其第一台最新芯片制造机器的最核心部件运往美国芯片制造商英特尔(INTC.US)旗下的芯片工厂，这意味着英特尔首个获得这种全球最先 进的光刻机。
NA EUV光刻机目前是全球技术最先 进的光刻机，采用0.55 NA的镜头，能够实现8nm级别的分辨率，而标准的EUV技术使用0.33 NA的镜头。因此，这种新NA技术能够在晶片上打印更小的特征尺寸，对于2nm及以下节点的芯片制造技术大有帮助。
这种光刻机的价格惊人，定价约为2.5亿欧元(大约2.75亿美元)，阿斯麦之前的最高端光刻机售价约为1.8亿美元。
即便这么昂贵，但NA EUV光刻机依然非常抢手，阿斯麦计划在2024年生产最多10台NA( EUV极紫外光刻机，其中英特尔就定了多达6台，台积电和三星只能望而兴叹。其余想买的企业还有日本的半导体设备巨头东京电子和美国半导体设备商应用材料，中国的中芯国际也想买，但阿斯麦不敢出售给中芯国际，因为害怕受美国制裁。
新款光刻机似乎越来越贵，有消息说，被称为EXE:5200B的“第二代high-NA EUV机器”将具有更高的生产率，价格超过3.5亿欧元，芯片业完全成了资本实力的竞争。
（责任编辑：韩丽）
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