运营商财经 康钊/文
近日，日本企业尼康在上海展示其光刻机，并表达出日企尼康计划2024年面向市场推出光刻机新品的意愿。在全球最大的光刻机企业荷兰ASML已经被大幅i限制对中国出口光刻机之际，日本尼康插一杠子，这是啥意思呢？
虽然荷兰ASML是大名鼎鼎的EUV光刻机制造者，但也并不代表全世界就没有了其他的光刻机企业。其实，当年与荷兰ASML激烈竞争的就是日本尼康和佳能，因为技术落败，日本尼康和佳能在光刻机市场日益萎缩，但还有一定销量，而购买者一部分就是中国企业。
据悉，尼康计划使用上世纪90年代初的“i-line”老一代光源技术，来绕开日本对先进半导体进行的出口管制。
光刻机自诞生以来已经经历了6代，这6代分别是g线、i线、KrF、ArF、ArFi、EUV。日本尼康拟向中国推出的“i-line”老一代光源机相当于第五代光刻机技术，采用193nm光源，也叫做浸润式光刻机。
尼康、佳能曾想把光源从193nm升级为165nm，但好多年没成功。这时候台积电提出来用水作介质，就跳过157nm，变成143nm了，但是尼康和佳能不听，结果ASML就此研发出了ArFi浸润式光刻机，尼康、佳能被击溃。
尼康如果用这么老的技术来向中国出口光刻机是否能行，还要看市场需求。
中国的光刻机技术连日本的这种老掉牙的“i-line”都不如。中国在第一代至第四代光刻机技术上都不落后，像G线、I线、KrF等国内也有，差就差在第五代光刻机开始，主要是美国的捣乱、故意封锁。
中芯国际梦寐以求都想获得一台EUV光刻机，但始终都没有机会，如果中芯国际能买到EUV光刻机，那中国就不怕美国卡脖子了。
（责任编辑：韩丽）
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